槽式湿法清洗设备
应用于集成电路的湿法工艺
盛美的槽式湿法设备用于批式晶圆湿法清洗、刻蚀、光刻胶去除等工艺,提供多个槽体进行化学药液或纯水,结合热浸、喷淋、溢流、快速冲洗等清洗方式,配合先进的IPA干燥方式,可同时对25或50片晶圆进行工艺处理,可广泛应用于集成电路制造领域。
槽式湿法清洗设备
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欧美孕交
主要优势
小尺寸,高产能
先进的IPA干燥方式
工序可灵活编辑
无盒式(No-Cassette)50片晶圆批次处理
节能减排,降低成本
特征规格
配备先进的IPA干燥槽
配备稳定的晶圆传输系统
模块化设计,可客制化组合选配
可选配一体式清洗模块(多种化学药水与纯水在同一槽中进行工艺)
可选配兆声波清洗
关键应用

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