TAHOE清洗设备
应用于去胶和先进清洗
盛美的高温硫酸清洗设备Tahoe将槽式模块和单片清洗模块集成于同一设备中，以实现高效的清洗性能，并且其硫酸使用量只有传统SPM单片清洗设备的10%甚至更少。该设备可以广泛应用于先进集成电路制造领域。
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欧美孕交
主要优势
槽式SPM清洗模块与单片清洗腔体相结合来进行去胶工艺。SPM的寿命可通过使用时间和工艺片数来控制。现阶段，SPM的使用量跟单片高温清洗设备相比能减少80%以上。
单片晶圆腔体内可配置通用药液比如DHF,SC1,SC2和O3。可按要求配置喷嘴和/或者兆声波清洗来提高去除颗粒污染物的效率。
工艺的顺序可灵活设置，该设备可按照不同的产品需求进行槽式清洗工艺或者只进行单片清洗工艺。
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